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真空压力开关采用高精度压力传感器，测量精度 ±0.5%，可满足高精度真空系统的控制要求

流量控制阀内置超声波流量计、压力传感器与 AI 补偿算法，自动校正温度、压力、粘度对流量的影响，控制精度 ±0.8%